導語：在當前國外有關(guān)技術(shù)封鎖及國內(nèi)區(qū)域競爭加劇的背景下，張賓帶領(lǐng)團隊在微機電系統(tǒng)（MEMS）半導體智能傳感器領(lǐng)域攻克關(guān)鍵核心技術(shù)，突破技術(shù)壁壘，補足短板，優(yōu)化產(chǎn)品設(shè)計、完善檢驗檢測，建立以質(zhì)量為基礎(chǔ)的品牌發(fā)展戰(zhàn)略，加快市場化推廣應(yīng)用，用科技服務(wù)民生、推動經(jīng)濟社會高質(zhì)量發(fā)展，為實現(xiàn)“2025年中國芯片自給率達到70%”的目標作貢獻。

張賓，2003年9月創(chuàng)辦廣州奧松電子有限公司（現(xiàn)更名為廣州奧松電子股份有限公司，以下簡稱“奧松電子”），擔任董事長和首席技術(shù)專家，是廣州市第十六屆人民代表大會代表、廣東省工業(yè)和信息化廳廣東民營企業(yè)家智庫成員、奧松電子科學技術(shù)協(xié)會主席、華南理工大學設(shè)計學院工程碩士研究生校外指導教師。一直從事MEMS智能傳感器研發(fā)，先后主持國家、地方和企業(yè)研發(fā)項目120余項，擁有自主知識產(chǎn)權(quán)超150件，參與起草國家標準3項，主導建設(shè)發(fā)展國內(nèi)領(lǐng)先的MEMS半導體智能傳感器全產(chǎn)業(yè)鏈（MEMS IDM）模式產(chǎn)業(yè)集群。先后被評為廣州市黃埔區(qū)、廣州開發(fā)區(qū)“創(chuàng)業(yè)領(lǐng)軍人才”“創(chuàng)業(yè)杰出人才”“創(chuàng)業(yè)英才”“優(yōu)秀人才”和廣東“最美科技工作者”。

奧松電子董事長張賓，圖片由受訪者提供

堅守初心  搭建全新智能化生產(chǎn)線

我國傳感器產(chǎn)業(yè)起步晚，發(fā)展緩慢，傳感器技術(shù)與世界水平相比存在很大差距，各類傳感器芯片幾乎完全從國外進口，價格昂貴，國內(nèi)缺乏對新原理、新器件和新材料傳感器的研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化能力。國內(nèi)傳感器研發(fā)的慘淡現(xiàn)狀將張賓“逼”上創(chuàng)業(yè)之路。

2003年，張賓負責研發(fā)的濕度傳感器項目成功實現(xiàn)量產(chǎn)，濕度傳感器成為他同年成立的奧松電子的第一款產(chǎn)品。乘中國加入世界貿(mào)易組織的春風，訂單紛至沓來，產(chǎn)品暢銷海內(nèi)外各地。

然而，2010年，張賓決定投入以往所有的收益，搭建MEMS半導體智能傳感器芯片生產(chǎn)線。國內(nèi)這一領(lǐng)域一片空白，單個車間內(nèi)上百臺設(shè)備的功能、兼容性都需要一一摸索。這一重資產(chǎn)、高投入、長時間、又成敗難料的事情，遭到部分股東的反對，一些研發(fā)人員也想退出。

面臨資金緊張、人員流失嚴重的困境，張賓毫不退縮，他堅定地說，“當與利益無關(guān)，卻還一如既往、持之以恒地追求下去，這就叫熱愛?！?

這份熱愛有跡可循?！拔沂且粋€技術(shù)愛好者，從小就對各種機械、電子產(chǎn)品有著濃厚的興趣。報考專業(yè)時，選擇了向往已久的電子技術(shù)專業(yè)?！惫ぷ骱髲堎e在傳感器技術(shù)領(lǐng)域不斷地研發(fā)探索，多年的專業(yè)知識積累以及刻苦鉆研，讓他對傳感器技術(shù)有著自己深入的思考。

張賓在做實驗，圖片由受訪者提供

2010年，張賓注意到國外傳感器制造技術(shù)全面升級，在前往國外交流學習時，他在納米加工平臺看到多種不同高端設(shè)備如刻蝕機、光刻機等在傳感器上的應(yīng)用，深受震撼！奧松電子當時采用的還是傳統(tǒng)的陶瓷電路做傳感器基板，產(chǎn)品在體積、性能、價格等方面都處于劣勢。張賓意識到，在半導體行業(yè)，傳統(tǒng)的機械加工技術(shù)已經(jīng)走到了盡頭，利用微電子和微機械加工技術(shù)制造出來的新型傳感器才是將來的發(fā)展趨勢。

從此，張賓踏上了搭建MEMS半導體智能傳感器芯片生產(chǎn)線的漫漫征程。耗費6年時間，投入大量的資金，他始終抱著“咬定青山不放松”的信念，堅守初心，帶領(lǐng)團隊反復調(diào)試設(shè)備，對設(shè)備的功能、結(jié)構(gòu)一一研究并進行改裝。路雖遠行則將至，事雖難做則必成。2016年，在經(jīng)歷無數(shù)次失敗過后，奧松電子建成了屬于自己的MEMS半導體芯片生產(chǎn)線。

奧松電子科學技術(shù)協(xié)會成立的大會暨揭牌儀式，圖片由受訪者提供

勇于創(chuàng)新  突破多項“卡脖子”技術(shù)

習近平總書記在黨的二十大報告中提到，要堅持創(chuàng)新在我國現(xiàn)代化建設(shè)全局中的核心地位，健全新型舉國體制，強化國家戰(zhàn)略科技力量，提升國家創(chuàng)新體系整體效能，形成具有全球競爭力的開放創(chuàng)新生態(tài)。國家富強和民族復興離不開科技創(chuàng)新，在創(chuàng)新強國的征程中，正是因為科研一線工作者們不斷探索，精益求精，把科技的命脈牢牢掌握在手中，從而實現(xiàn)科技自立自強。

多年來，張賓作為奧松電子技術(shù)帶頭人，帶領(lǐng)團隊在科技創(chuàng)新強國路上越走越遠，未曾有因取得成績而停止進取的步伐。奧松電子不斷取得新突破，其中不乏亮眼的成就：2016年，成功打造國內(nèi)領(lǐng)先MEMS半導體傳感器集成電路全產(chǎn)業(yè)鏈；2020年，粵港澳大灣區(qū)首條6吋MEMS半導體智能傳感器產(chǎn)線成功投產(chǎn)；2022年，又啟動了8吋特色芯片生產(chǎn)線的建設(shè)，該項目建成后，將使粵港澳大灣區(qū)成為國內(nèi)規(guī)模化的MEMS芯片及智能傳感器產(chǎn)業(yè)集群。

2019年，張賓帶領(lǐng)研發(fā)團隊自主創(chuàng)新研發(fā)的MEMS半導體絕對濕度傳感器打破了日本對全球市場的壟斷。該產(chǎn)品以最新的MEMS傳感器制造工藝突破傳統(tǒng)玻璃封裝，一方面從響應(yīng)速度、集成度等方面優(yōu)化了微波爐、烤箱等家電新產(chǎn)品，實現(xiàn)數(shù)字接口輸出，實現(xiàn)MEMS絕對濕度傳感器產(chǎn)業(yè)化；另一方面打破了技術(shù)壟斷，實現(xiàn)絕對濕度傳感器國產(chǎn)化，為國內(nèi)家電行業(yè)貢獻優(yōu)質(zhì)蒸汽濕度解決方案。

2021年，張賓主持“新一代冷鏡式精密露點儀的研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化”項目，部分性能參數(shù)趕超國外進口產(chǎn)品，解決了我國智能傳感器關(guān)鍵技術(shù)“卡脖子”問題，實現(xiàn)了國產(chǎn)化替代，保障國家關(guān)鍵零部件供應(yīng)鏈安全。

項目實施期間，張賓帶領(lǐng)研發(fā)團隊自主創(chuàng)新，首創(chuàng)借助半導體工藝采取硅片鍍鉑作為冷凝結(jié)露鏡面，制冷溫差提高，冷鏡體積減小，反應(yīng)速度得到極大提高。這項工藝現(xiàn)已取得中國計量科學研究院校準和檢定證書，可廣泛應(yīng)用于計量檢測、高?？蒲?、氣象環(huán)境、電子電力、醫(yī)藥等行業(yè)。該項目獲得了“2021年度粵港澳大灣區(qū)高價值專利培育布局大賽50強”和“2021年度廣東省測量控制與儀器儀表科學技術(shù)獎三等獎”。

廣州市黃埔區(qū)廣州開發(fā)區(qū)杰出人才（創(chuàng)業(yè)）頒獎現(xiàn)場（右5為張賓）

抗擊疫情  緊急攻關(guān)實現(xiàn)呼吸機專用傳感器國產(chǎn)化替代

2020年伊始，突如其來的新冠肺炎疫情使世界各國自危，美國、日本、德國等國家采取了嚴格的技術(shù)封鎖，限制多項傳感器相關(guān)技術(shù)出口。而我國國產(chǎn)呼吸機、麻醉機的關(guān)鍵傳感器長期全部依賴進口，疫情來勢洶洶，國內(nèi)核心關(guān)鍵傳感器卻短缺，嚴重限制了呼吸機、麻醉機的產(chǎn)能。

面對嚴峻形勢，張賓扛起科研工作者、企業(yè)家的社會責任和擔當，集公司之力回應(yīng)國內(nèi)某知名呼吸機生產(chǎn)廠家的求助。張賓緊急召開產(chǎn)品技術(shù)研討會，成立醫(yī)用傳感器攻關(guān)團隊，分別設(shè)立芯片制造工藝開發(fā)小組、結(jié)構(gòu)設(shè)計和模具開發(fā)小組以及系統(tǒng)控制集成小組，在復工復產(chǎn)極為艱難的情況下，張賓調(diào)配所有資源攻克技術(shù)難題，日以繼夜全力奮戰(zhàn)。張賓與員工在公司同吃住、共研發(fā)，親自參與結(jié)構(gòu)設(shè)計、芯片可靠性測試、傳感器標定等工作。經(jīng)過無數(shù)次實驗與測試、無數(shù)次技術(shù)方案調(diào)整、無數(shù)次技術(shù)迭代，在極短時間內(nèi)，他將科研骨干的才智凝聚于樣品，并送檢合格。

供應(yīng)鏈、工裝夾具、生產(chǎn)線排產(chǎn)工作......歷經(jīng)一個多月連續(xù)接力的量產(chǎn)攻關(guān)，奧松電子率先成為國內(nèi)唯一一家同時具備生產(chǎn)新一代呼吸機專用流量、差壓、氧氣等抗疫相關(guān)傳感器能力的企業(yè)。奧松電子將自身技術(shù)積累轉(zhuǎn)化為研發(fā)產(chǎn)品，為呼吸機、麻醉機和口罩機等抗疫一線裝備提供關(guān)鍵傳感器，為抗擊疫情貢獻了重要力量。

這一科技成果解決了國內(nèi)呼吸機、麻醉機中缺少關(guān)鍵零部件的難題，打破了一直以來呼吸機專用傳感器被外國科技巨頭壟斷的局面，實現(xiàn)了國產(chǎn)化替代，為人民的生命安全提供了強大的保障。

張賓始終把家國情懷融入其在智能傳感器產(chǎn)業(yè)的奮斗之中，在中國科技事業(yè)的征程中，帶領(lǐng)團隊打破一項項國外科技巨頭壟斷；在突發(fā)疫情面前，帶領(lǐng)團隊以科研產(chǎn)品保障人民生命安全。對一個優(yōu)秀科技工作者的詮釋，不僅是對科研的熱愛與創(chuàng)新，還要擁有勇于承擔社會責任的品格。在當前國外有關(guān)技術(shù)封鎖及國內(nèi)區(qū)域競爭加劇的背景下，張賓帶領(lǐng)團隊全心全意投入，以攻克關(guān)鍵核心技術(shù)、突破技術(shù)壁壘的努力，用科技服務(wù)民生。

（作者：李婉欣 原文刊載于《廣東科技》2022年第12期）