中電科思儀科技股份有限公司的6433系列光波元件分析儀不僅能實(shí)現(xiàn)對(duì)光器件（電光器件、光電器件、光光器件）的S參數(shù)測(cè)試，也可實(shí)現(xiàn)對(duì)5G光芯片（PD芯片、LD芯片）的S參數(shù)測(cè)試。

（一）光芯片測(cè)試面臨的問(wèn)題：傳統(tǒng)的測(cè)試方法通過(guò)校準(zhǔn)片對(duì)探針進(jìn)行校準(zhǔn)，該方法雖然校準(zhǔn)精度高，但是需要使用開(kāi)路、短路、負(fù)載多個(gè)校準(zhǔn)片，且需要用戶(hù)自己創(chuàng)建校準(zhǔn)標(biāo)準(zhǔn)，校準(zhǔn)過(guò)程復(fù)雜，不利于用戶(hù)對(duì)儀器的使用。

（二）測(cè)試問(wèn)題解決的思路：采用一種基于自動(dòng)夾具移除的光芯片在片測(cè)試方案，可以快速地實(shí)現(xiàn)芯片測(cè)試。利用儀器自帶的自動(dòng)夾具移除功能可以快速有效地解決芯片S參數(shù)測(cè)試難題。測(cè)試時(shí)，將高頻探針等效為夾具，通過(guò)自動(dòng)夾具移除測(cè)量高頻探針的時(shí)域參數(shù)，利用信號(hào)流圖提取頻域參數(shù)，形成s2p文件，進(jìn)而通過(guò)射頻去嵌入，實(shí)現(xiàn)光芯片的高精度S參數(shù)測(cè)試。

（三）解決問(wèn)題的具體方法：以PD芯片為例，基于自動(dòng)夾具移除的光芯片測(cè)試連接如示意圖所示，輸出的光信號(hào)通過(guò)光纖跳線(xiàn)連接到被測(cè)芯片的輸入端，被測(cè)芯片輸出的電信號(hào)通過(guò)射頻電纜連接到儀器的射頻端口2。在測(cè)試時(shí)，首先通過(guò)自動(dòng)夾具移除功能得到高頻探針的s2p文件，其次通過(guò)射頻去嵌入消除探針帶來(lái)的測(cè)量誤差，以獲得被測(cè)芯片的真實(shí)S參數(shù)。

（四）測(cè)試的案例效果：利用自動(dòng)夾具移除功能，光波元件分析儀能夠準(zhǔn)確測(cè)量得到高頻探針的參數(shù)信息，在進(jìn)行電光芯片或光電芯片測(cè)試時(shí)，消除探針帶來(lái)的測(cè)量誤差，進(jìn)而高精度地表征芯片的S參數(shù)，如下圖所示（基于6433光波元件分析儀實(shí)現(xiàn)）成功完成了光芯片在片測(cè)試。

基于自動(dòng)夾具移除的光芯片在片測(cè)試方案