近日，浙江省計量院博士樓偉民的《基于多體系統(tǒng)運動學(xué)的大口徑非球面表面缺陷暗場檢測子孔徑掃描軌跡誤差分析與測量方法》學(xué)術(shù)報告，獲全國光學(xué)測試學(xué)術(shù)交流會優(yōu)秀報告獎。
該報告針對大口徑非球面光學(xué)元件表面缺陷暗場檢測過程中，多達10個運動軸控制的子孔徑掃描容易引發(fā)圖像拼接錯位的問題，建立了一種基于多體系統(tǒng)運動學(xué)的子孔徑掃描軌跡誤差分析數(shù)學(xué)模型，并提出了一種基于光軸軸心擬合的主要誤差項測量方法，通過仿真與實驗驗證了主要誤差項補償后，子孔徑掃描圖像的拼接錯位情況得到顯著改善，為大口徑非球面光學(xué)元件表面缺陷的數(shù)字化、高精度檢測提供了技術(shù)保障。
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