客戶背景

微電子實(shí)驗(yàn)室是致力于各類半導(dǎo)體芯片研究的重要科研機(jī)構(gòu)。對(duì)于高端芯片的研發(fā)而言，實(shí)驗(yàn)室內(nèi)部的環(huán)境溫濕度條件至關(guān)重要，因此該實(shí)驗(yàn)室對(duì)環(huán)境溫濕度的控制與監(jiān)測(cè)提出了極為嚴(yán)格的要求。

實(shí)驗(yàn)室溫濕度控制要求

在實(shí)驗(yàn)室里，各類實(shí)驗(yàn)設(shè)備與樣本對(duì)溫濕度條件極為敏感。例如，高精度光刻設(shè)備要求溫度波動(dòng)范圍控制在±1℃，濕度保持在40% - 60%RH，以確保光刻精度不受溫濕度變化的干擾；對(duì)于一些特殊的半導(dǎo)體材料樣本，適宜的溫濕度范圍能防止材料特性發(fā)生改變，保障實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)的準(zhǔn)確性和可重復(fù)性。而且，長(zhǎng)時(shí)間處于不適宜的溫濕度環(huán)境中，實(shí)驗(yàn)設(shè)備的電子元件可能會(huì)因受潮或溫度過(guò)高而出現(xiàn)性能下降、壽命縮短等問(wèn)題。因此，實(shí)驗(yàn)室需要一款高精度的溫濕度監(jiān)測(cè)產(chǎn)品，保證環(huán)境溫濕度保持在適宜的范圍內(nèi)。

應(yīng)用實(shí)施過(guò)程

在引入Fluke 961溫濕度記錄儀時(shí)，實(shí)驗(yàn)室團(tuán)隊(duì)首先對(duì)實(shí)驗(yàn)室的布局和溫濕度監(jiān)測(cè)需求進(jìn)行了詳細(xì)規(guī)劃。根據(jù)實(shí)驗(yàn)室的功能分區(qū)和設(shè)備分布情況，在各個(gè)關(guān)鍵區(qū)域安裝了溫濕度傳感器，包括實(shí)驗(yàn)操作區(qū)、設(shè)備存放區(qū)、樣本儲(chǔ)存區(qū)等，確保全面覆蓋溫濕度敏感區(qū)域。

產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)

Fluke 961A可以通過(guò)USB接口直接導(dǎo)出PDF報(bào)告文件這一功能，極大地提高了數(shù)據(jù)整理和報(bào)告生成的效率。以往繁瑣的數(shù)據(jù)記錄和報(bào)告編寫(xiě)工作，現(xiàn)在只需簡(jiǎn)單操作即可快速完成，為科研人員節(jié)省了大量時(shí)間和精力。

此外，961A的32000組的超大存儲(chǔ)功能也滿足了實(shí)驗(yàn)室長(zhǎng)時(shí)間連續(xù)監(jiān)測(cè)的需求，能夠可靠地保存大量的溫濕度數(shù)據(jù)，無(wú)需手動(dòng)抄錄，保證數(shù)據(jù)完整連貫，為后續(xù)的數(shù)據(jù)分析和研究提供了堅(jiān)實(shí)的數(shù)據(jù)基礎(chǔ)。

F961A溫濕度記錄儀以其便利、快速、準(zhǔn)確的特點(diǎn)，為微電子研究所實(shí)時(shí)分析和掌握實(shí)驗(yàn)室環(huán)境溫濕度提供了有效的數(shù)據(jù)支持，確保了高端芯片研發(fā)工作在穩(wěn)定的環(huán)境條件下順利進(jìn)行。