近日，中國兵器工業(yè)集團微電子院在MEMS領域取得新成果，推出自主研發(fā)的新產(chǎn)品高精度MEMS智能傳感器產(chǎn)品。
微電子院領航國內(nèi)MEMS晶圓制造技術，自主研發(fā)具有高精度、低功耗、小型化特點的系列MEMS智能傳感器，可廣泛應用于智能汽車、航空航天、工業(yè)測控等領域，相關產(chǎn)品達到國際先進水平。下一步，微電子院將繼續(xù)開展MEMS核心關鍵技術攻關，打造原創(chuàng)技術策源地，推動科技成果轉化，加快培育新質(zhì)生產(chǎn)力，為微電子行業(yè)繁榮發(fā)展提供有力支撐。
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